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    材料在真空环境下放气的测试技术研究

    材料在真空环境下放气的测试技术研究

    时间:2017-05-08

    为避免玻璃变形分裂,对资料在真空情形中的放气率中止测量,并把持四极质谱计对装配的本底气体成份和资料放出的气体成份中止了分析。此外,铜、铝合金2A12、304不锈钢三种资料半...

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    浸没式等离子体注入设备的仿真优化

    浸没式等离子体注入设备的仿真优化

    时间:2017-05-08

    可以在400mm直径处置面积上抵达等离子体3%的非均匀性。Kim等提出了一种矩形感应耦合等离子体源,在2300mm2000mm处置面积上可以抵达11.4%到18.1%的等离子体非均匀性。在理论的IC工艺装备制...

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    基于介电常数法的高精度油品含水率检测仪

    基于介电常数法的高精度油品含水率检测仪

    时间:2017-05-08

    并想象完成了电容传感器。介电常数法采用了管道内搀杂流体的平均法测量,W暗示油品含水率,0、H、分袂暗示纯水、纯油和搀杂乳液的介电常数。 4、体系检验考试 为了检验检测仪的...

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    大型高真空容器的气体负荷分析

    大型高真空容器的气体负荷分析

    时间:2017-05-08

    极限真空度达10-3 Pa 的真空装备业已建造完成。相对惯例真空装备,所以氢原子对金属的疏散和浸透最为鲜明,Pam3/s Ql漏气流量,dp/dt=0,液体(或固体)气化的结果是使空间的蒸气密度渐渐...

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    热表面电离法监测锂原子蒸气密度的实验研究

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    时间:2017-05-08

    若是其电离能小于金属的功函数,则饱和电压照应提高,验证了用热概略电离法监测锂原子蒸气密度的可行性。 1、检验考试事理 金属原子打在热金属概略上会发作电荷交流(被电离)发作...

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